发明名称 VGF锗单晶生长炉芯模具
摘要 一种VGF锗单晶生长炉芯模具,涉及一种模具,尤其是一种用于VGF锗单晶生长过程中,简化炉芯制作过程,便于固定测温热偶位置的VGF锗单晶生长炉芯模具。本实用新型的VGF锗单晶生长炉芯模具,其特征在于该模具包括底座和连杆,底座与连杆均为圆柱体,连杆的横截面直径小于底座的横截面直径,连杆设置在底座顶部且与底座保持同轴,底座两侧壁上均设置有凹槽,凹槽为两个,对称设置在底座两侧壁上。本实用新型的VGF锗单晶生长炉芯模具,设计科学,结构简单,使用方便,简化了炉芯的制作过程,测温热偶位置放置准确,提高炉芯的制作效率与成功率。
申请公布号 CN204125561U 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201420661118.4 申请日期 2014.11.07
申请人 云南中科鑫圆晶体材料有限公司 发明人 董汝昆;李武芳;祝永成;包文臻;高云浩;金之生;王朝思
分类号 C30B11/00(2006.01)I;C30B29/08(2006.01)I 主分类号 C30B11/00(2006.01)I
代理机构 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 代理人 董昆生
主权项 一种VGF锗单晶生长炉芯模具,其特征在于该模具包括底座(1)和连杆(3),底座(1)与连杆(3)均为圆柱体,连杆(3)的横截面直径小于底座(1)的横截面直径,连杆(3)设置在底座(1)顶部且与底座(1)保持同轴,底座(1)两侧壁上均设置有凹槽(2),凹槽(2)为两个,对称设置在底座(1)两侧壁上。
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