一种具有共轴双蜗轮蜗杆机构的椭偏仪

摘要

本实用新型提供一种具有共轴双蜗轮蜗杆机构的椭偏仪，具有入射光手臂和接受光手臂、以及入射光手臂连接杆和接受光手臂连接杆，还包括共轴双蜗轮蜗杆机构，共轴双蜗轮蜗杆机构包括主轴、第一蜗轮、第二蜗轮、第一蜗杆和第二蜗杆，第一蜗轮和第二蜗轮都与主轴连接，第一蜗杆与第一蜗轮的外圈啮合连接，第二蜗杆与第二蜗轮的外圈啮合连接，第一蜗轮的一端与入射光手臂连接杆连接，第二蜗轮的一端与接受光手臂连接杆连接。其优点在于：可实现全方位自由转动至所需的任意光入射及出射角度，精度也能得到保证，还能自锁，使用者可通过软件自由定义入射角度。且由于两套蜗轮蜗杆采用共轴方式安装，可更好的将配合误差减到最小，进而获得最好的同心度。

主权项

一种具有共轴双蜗轮蜗杆机构的椭偏仪，具有入射光手臂(1)和接受光手臂(2)、以及入射光手臂连接杆(11)和接受光手臂连接杆(21)，其特征在于，还包括共轴双蜗轮蜗杆机构(3)，所述共轴双蜗轮蜗杆机构(3)包括主轴(31)、第一蜗轮(33)、第二蜗轮(34)、第一蜗杆(32)和第二蜗杆(35)， 所述第一蜗轮(33)和所述第二蜗轮(34)都与所述主轴(31)轴连接，所述第一蜗杆(32)与所述第一蜗轮(33)的外圈啮合连接，所述第二蜗杆(35)与所述第二蜗轮(34)的外圈啮合连接，所述第一蜗杆(32)的两端与所述入射光手臂连接杆(11)连接，所述第二蜗杆(35)的两端与所述接受光手臂连接杆(21)连接。