带电粒子线显微镜以及该带电粒子显微镜的控制方法

摘要

本发明的带电粒子显微镜系统的特征在于，将带电粒子显微镜的操作项目限定于显示在GUI画面(2)上的控制按钮中的项目。若用户在带电粒子显微镜的GUI画面(2)上仅操作了一次与希望的观察条件相对应的控制按钮(41、42、43)，则能够根据所述观察条件，设定保存在表中的电子光学条件，并进行测定。由此，能够提供直观且容易操作的带电粒子显微镜用的图形用户界面环境。

主权项

一种带电粒子显微镜系统，其特征在于，具备：扫描带电粒子显微镜，其具备带电粒子光学镜体和对该带电粒子光学镜体进行控制的控制装置；显示画面，其显示图形用户界面，该图形用户界面具备显示所述带电粒子显微镜中的观察图像的观察图像显示区域；和计算机，其执行在该图形用户界面上被指定的操作，在所述图形用户界面上显示如下按钮：用于将所述带电粒子光学镜体的加速电压导通、截止的开始/停止按钮；用于对显示在所述显示画面上的所述带电粒子显微镜观察图像的视野进行移动的视野搜索按钮；显示比点击所述视野搜索按钮时更高精度的图像的图像确认按钮；在进行所述带电粒子光学镜体的调整时被点击的调整按钮；使所述带电粒子光学镜体中的电子束扫描成为静止状态的静止按钮；和包括表面按钮、通常按钮、以及高亮度按钮这3个按钮在内的观察条件按钮，在点击所述视野搜索按钮时，实施比点击所述图像确认按钮时更快的束扫描，在点击所述调整按钮时，实施比点击所述图像确认按钮时更快的束扫描，并且束扫描区域的大小被设定为比点击图像确认按钮时更窄，在点击所述静止按钮时，所述束扫描成为静止状态，在所述观察图像显示区域中显示最后被扫描的图像，在点击所述表面按钮时，将所述加速电压设定为比点击所述通常按钮以及所述高亮度按钮时更低，并且将束电流量设定为比点击所述通常按钮以及所述高亮度按钮时更小，在点击所述高亮度按钮时，将所述加速电压设定为比点击所述通常按钮以及所述表面按钮时更高，并且将束电流量设定为比点击所述通常按钮以及所述表面按钮时更大。