基于二维碳材料的平面光波导加热装置及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于二维碳材料的平面光波导加热装置及其制备方法。包含覆盖在平面光波导上的二维碳材料透明热电阻和连接外部电源的两个接触点，平面光波导由衬底和自下而上依次沉积在衬底上的隔离层、芯层和二维碳材料透明热电阻组成，二维碳材料透明热电阻覆盖在平面光波导的芯层上表面的一侧，与芯层直接接触，两个接触点分别经连接导线连接在二维碳材料透明热电阻的两端。本发明具有加热效率高、能达到更高的加热温度、加热速度快等优点，并具备硅光子器件制备工艺兼容性，适用于小型化平面光波导热光器件。

主权项

一种基于二维碳材料的平面光波导加热装置，其平面光波导（1）由衬底（6）和自下而上依次沉积在衬底（6）上的隔离层（7）、芯层（8）和二维碳材料透明热电阻（10）组成，其特征是：装置包含覆盖在平面光波导（1）上的二维碳材料透明热电阻（10）和连接外部电源的两个接触点（2、3），二维碳材料透明热电阻（10）覆盖在平面光波导（1）的芯层（8）上表面的一侧，两个接触点（2、3）分别经连接导线（4、5）连接在二维碳材料透明热电阻（10）的两端。