发明名称 | 提拉杆防抖动系统及激光晶体炉 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种提拉杆防抖动系统及激光晶体炉,所述提拉杆防抖动系统包括密封元件、中空管、提拉杆及用于驱动所述提拉杆升降运动的滑动装置,所述中空管的一端与密封元件的一端密封连接,所述密封元件的另一端与所述滑动装置密封连接,所述提拉杆的一端连接于所述滑动装置,另一端穿过所述密封元件及中空管,并延伸至晶体炉顶部的通孔内。所述激光晶体炉包括所述提拉杆防抖动系统。本实用新型涉及的提拉杆防抖动系统避免硅胶圈变形,避免提拉杆抖动。本实用新型涉及的激光晶体炉晶体的生长质量高。 | ||
申请公布号 | CN204125565U | 申请公布日期 | 2015.01.28 |
申请号 | CN201420546349.0 | 申请日期 | 2014.09.22 |
申请人 | 广州半导体材料研究所 | 发明人 | 黄晋强;权纪亮 |
分类号 | C30B27/02(2006.01)I | 主分类号 | C30B27/02(2006.01)I |
代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 王园园;万志香 |
主权项 | 一种提拉杆防抖动系统,其特征在于,包括密封元件、中空管、提拉杆及用于驱动所述提拉杆升降运动的滑动装置; 所述中空管的一端与密封元件的一端密封连接,所述密封元件的另一端与所述滑动装置密封连接; 所述提拉杆的一端连接于所述滑动装置,另一端穿过所述密封元件及中空管,并延伸至晶体炉顶部的通孔内。 | ||
地址 | 510610 广东省广州市天河区东莞庄161号 |