发明名称 用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟
摘要 本实用新型提供了一种用于双面镀膜的石墨舟片,所述石墨舟片设置有镂空硅片位;所述镂空硅片位边缘设置有硅片卡件。本实用新型还提供了一种用于双模镀膜的石墨舟,包括多片上述技术方案所述的石墨舟片。本实用新型提供的石墨舟包括的石墨片上设置有镂空的硅片位,通过镂空硅片位边缘设置的硅片卡件将待镀膜的硅片卡在硅片位上,从而在镀膜时实现硅片的双面镀膜。而且,本实用新型提供的石墨舟与传统的太阳能电池生产线兼容,适合大规模工业生产。
申请公布号 CN204130510U 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201420625377.1 申请日期 2014.10.27
申请人 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 发明人 黄纪德;蒋方丹;金井升;金浩;陈康平
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 赵青朵
主权项 一种用于双面镀膜的石墨舟片,所述石墨舟片设置有镂空硅片位;所述镂空硅片位边缘设置有硅片卡件。
地址 314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号