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发明名称 FABRICATION METHOD OF HIGH QUALITY OXIDE THIN FILMS FOR MICRIBOLOMETER
摘要
申请公布号 KR20150009772(A) 申请公布日期 2015.01.27
申请号 KR20130084115 申请日期 2013.07.17
申请人 KOREA PHOTONICS TECHNOLOGY INSTITUTE 发明人 HAN, MYUNG SOO;KO, HANG JU;KIM, HYO JIN;SHIN, JAE CHEOL;JANG, WON GUN
分类号 H01L31/09 主分类号 H01L31/09
代理机构 代理人
主权项
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