摘要 |
Устройство стабилизации температуры микромеханического чувствительного элемента с системой возбуждения колебаний, которая включает группы электродов, преобразователь емкость-напряжение, соединенный входом с первой группой электродов, умножитель, с изменяемым коэффициентом усиления, соединенный выходом со второй группой электродов, фазосдвигающее устройство, включенное между выходом преобразователя емкость-напряжение и первым входом умножителя, регулятор, включенный между выходом преобразователя емкость-напряжение и вторым входом умножителя, корректирующее звено, соединенное со входом нагревательного элемента, отличающееся тем, что в устройство стабилизации температуры между выходом регулятора и входом корректирующего звена введено устройство преобразования сигнала, реализующее функциональную зависимость:где- соответственно сигналы на выходе и входе устройства преобразования сигнала;- коэффициенты преобразования. |