| 摘要 |
Винахід належить до галузі електротехніки, зокрема до вакуумно-дугових пристроїв, які використовуються для нанесення покриттів різного призначення іонно-плазмовими методами у вакуумі, для очищення і нагріву оброблюваного матеріалу, для травлення і модифікації поверхневих шарів і т.п. Вакуумно-дуговий пристрій для нанесення покриттів оснащено трьома ступенями збудження дуги із блоками їх живлення. Погоджене керування роботою ступенів, першим та другим при низькому тиску, другим і третім при високому тиску, в процесі обробки виробів здійснюється за сигналами датчика тиску і датчика струму дуги блоком керування. У режимі нанесення покриттів при запуску пристрою третім ступенем запуску забезпечується можливість роботи в режимі з малою тривалістю імпульсів. Для додаткового підвищення надійності й ресурсу роботи, пристрій може містити кілька перших ступенів запуску. Пусковий електрод третього ступеня запуску охоплений соленоїдом. Технічним результатом винаходу є підвищення надійності і ресурсу роботи пристрою, а також забезпечення його роботи в імпульсному режимі з малою тривалістю імпульсів в режимі нанесення покриття. |
