Computertomografie-Verfahren und Anordnung zur Bestimmung von Merkmalen an einem Messobjekt

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Computertomografie-Verfahren zur dimensionellen Bestimmung von Merkmalen an einem Messobjekt, bei dem das Messobjekt in mehreren Drehstellungen mit der Strahlung einer Strahlungsquelle durchstrahlt wird und jeweils zugehörige 2D-Durchstrahlungsbilder aufgenommen werden, aus denen mittels Rekonstruktion dreidimensionale Volumeninformationen im Voxelformat berechnet werden, wobei in diesem Voxelvolumen Daten zur lokalen Strahlabsorption enthalten sind, und wobei aus den Voxeldaten Oberflächenpunkte generiert werden, wahlweise ein physikalischer Effekt in einer ersten Simulation simuliert wird und aus den ersten Simulationsdaten erste Korrekturdaten ermittelt werden, die zur Korrektur der Messdaten der Computertomografiemessung verwendet werden. Ferner werden aus den ersten Simulationsdaten zweite Simulationsdaten mittels zweiter Simulation bestimmt und aus den zweiten Simulationsdaten zweite Korrekturdaten ermittelt, die zur Korrektur der Messdaten der Computertomographiemessung verwendet werden.