| 发明名称 |
Hochleistungsrotoren einer Turbomolekularpumpe |
| 摘要 |
Gegenstand der Erfindung sind Hochleistungsrotoren einer Turbomolekularpumpe (TMP). |
| 申请公布号 |
DE102013219050(B3) |
申请公布日期 |
2015.01.22 |
| 申请号 |
DE201310219050 |
申请日期 |
2013.09.23 |
| 申请人 |
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH |
发明人 |
FROITZHEIM, MICHAEL |
| 分类号 |
F04D19/04 |
主分类号 |
F04D19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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