发明名称 寄生容量が低減されたMEMSマイクロフォン
摘要 <p>寄生容量を低減したMEMSマイクロフォンが提供される。このため、マイクロフォンは、バックプレートの縁部側領域を覆う保護フィルムを備える。【選択図】 図1</p>
申请公布号 JP2015502693(A) 申请公布日期 2015.01.22
申请号 JP20140540330 申请日期 2011.11.14
申请人 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEPCOS AG 发明人 ヨハンセン, レイフ, スティーン;ラフンキルデ, ヤン トゥ;ロンバッハ, ピルミン;ラスムッセン, カート
分类号 H04R19/04;H01L29/84;H04R31/00 主分类号 H04R19/04
代理机构 代理人
主权项
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