发明名称 |
集積フィルタとセンサアレイ上に投影された多重隣接画像コピーとを有するスペクトルカメラ |
摘要 |
スペクトル出力を生成するスペクトルカメラは、画像を生成する対物レンズ(10)、光学複製機(20)、フィルタアレイ(30)、センサアレイ(40)を備え、センサアレイは、フィルタ済みの画像コピーをセンサアレイの種々の部分で同時に検出するように構成されている。視野絞り(50)は、センサアレイ上に投影された画像コピーの輪郭を画定する。フィルタはセンサアレイ上に集積される。センサアレイは、平面構造を有し、隣接する各光学チャネル間でクロストークを妨げるための垂直な物理的バリアを有しない。視野絞りにより、こうしたバリア用のギャップなしに、隣接する画像コピーが整合する。集積フィルタにより、隣接する画像コピー間のクロストークを生じさせる寄生キャビティが存在しない。これにより、隣接する投影画像コピー間のバリアの必要性がなく、したがってセンサ領域をよりよく利用できる。 |
申请公布号 |
JP2015502523(A) |
申请公布日期 |
2015.01.22 |
申请号 |
JP20140539317 |
申请日期 |
2012.10.30 |
申请人 |
アイメックIMEC |
发明人 |
ベルト・ヘーレン;アンディ・ランブレヒツ;クラース・タック |
分类号 |
G01J3/36;G01J3/26;G03B11/00;H01L31/0232;H04N9/07 |
主分类号 |
G01J3/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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