| 摘要 |
<p>Die vorliegenden Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung zum translatorischen Bewegen und/oder Ausrichten eines Substrats sowie ein entsprechendes Verfahren und ein Computerprogrammprodukt. Die Positioniervorrichtung weist dabei eine sich in einer Bewegungsebene (x, y) erstreckende Basis (12) mit parallel zueinander ausgerichteten, längserstreckten und eine erste Verschieberichtung (x) vorgebenden Lagerschienen (16, 18, 20) sowie einen Träger (30) auf, wobei der Träger (30) mittels ansteuerbarer Magnetlager (40, 42, 44) berührungslos entlang der erster Verschieberichtung (x) verschiebbar an der Basis (12) gelagert ist, wobei sich der Träger (30) mittels der Magnetlager (40, 42, 44) an zumindest drei Lagerschienen (16, 18, 20) der Basis (12) abstützt und wobei die zumindest drei Lagerschienen (16, 18, 20) in einer Richtung (y) senkrecht zur ersten Verschieberichtung (x) voneinander beabstandet angeordnet sind.</p> |
