| 发明名称 | 一种太阳能电池钝化的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种太阳能电池钝化方法。在传统等离子增强化学气象沉积(PECVD)的基础上提出了通过氮化硅掩膜，在氮化硅掩膜表面电离氨气的方式对晶体硅材料表面进行钝化，以提升太阳能电池的转化效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104300036A | 申请公布日期 | 2015.01.21 |
| 申请号 | CN201310305848.0 | 申请日期 | 2013.07.18 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 刘汉清 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1.如权利要求1所述的将多晶硅衬底材料置于比例为1∶3∶5的氢氟酸、盐酸、DI水混合溶液中。 | ||
| 地址 | 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||