发明名称 切削装置
摘要 本发明提供切削装置。作为解决手段,切削装置的切削构件具有:安装在主轴的末端部的支撑凸缘、以能够拆装的方式被支撑在该支撑凸缘的切削刀和固定被支撑在该支撑凸缘的该切削刀的固定凸缘,该支撑凸缘具有供插入到形成在该切削刀的处的开口部的轮毂部、在该轮毂部的外周一体地形成且支撑该切削刀的面的凸边部和与该主轴的末端部嵌合的圆筒部,在该支撑凸缘的该凸边部形成有在该固定凸缘侧开口的吸引孔,在该支撑凸缘的该圆筒部形成有与该吸引孔连通的连通孔,该连通孔经由固定在该主轴外壳的旋转接头和开闭阀与该吸引源选择性地连通。在支撑凸缘的环状的支撑面和固定凸缘的环状的按压面形成有提高与切削刀的摩擦的细微的凹凸。
申请公布号 CN104290030A 申请公布日期 2015.01.21
申请号 CN201410336056.4 申请日期 2014.07.15
申请人 株式会社迪思科 发明人 胁田信彦
分类号 B24B45/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 B24B45/00(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;金玲
主权项 一种切削装置,其具有:保持被加工物的卡盘台;对在该卡盘台上保持的被加工物进行切削的切削构件;以及使该卡盘台和该切削构件相对地加工进给的加工进给构件,该切削装置的特征在于,该切削构件具有:主轴;以能够旋转的方式支撑该主轴的主轴外壳;安装在该主轴的末端部的支撑凸缘;以能够拆装的方式被支撑在该支撑凸缘上的切削刀;以及固定被支撑在该支撑凸缘上的该切削刀的固定凸缘,该支撑凸缘具有:供形成在该切削刀的中央处的开口部插入的轮毂部;在该轮毂部的外周一体地形成且具有支撑该切削刀的一个面的环状的支撑面的凸边部;以及与该主轴的末端部嵌合的圆筒部,在该支撑凸缘的该凸边部形成有在该固定凸缘侧开口的吸引孔,在该支撑凸缘的该圆筒部形成有与该吸引孔连通的连通孔,该连通孔经由固定在该主轴外壳上的旋转接头和开闭阀与吸引源选择性地连通,该固定凸缘具有:与该支撑凸缘的该轮毂部嵌合的嵌合孔;以及按压该切削刀的另一个面的环状的按压面,至少在该支撑凸缘的该环状的支撑面上形成有提高与该切削刀之间的摩擦的细微的凹凸,在打开该开闭阀而将该连通孔与该吸引源连接时,该支撑凸缘与该固定凸缘之间被减压而使该固定凸缘向该支撑凸缘吸引,从而该切削刀被固定。
地址 日本东京都