曝光框对位装置

摘要

本实用新型的曝光框对位装置包括支撑架和多个调整单元，调整单元设置于该支撑架上并连接曝光框，每个调整单元包括基座、第一滑块、线性驱动器、第二滑块及万向接头，第一滑块可水平滑动地设置于基座上且具有第一斜面，第二滑块可垂直滑动地设置于基座上且具有第二斜面，第二滑块的第二斜面与第一滑块的第一斜面相对应并可相对滑动，线性驱动器连接第一滑块，用于驱动第一滑块相对基座水平平移，同时第二滑块被第一滑块带动并相对基座垂直平移，万向接头设置于第二滑块底部并与曝光框连接，可依据待曝光基板的位置及水平程度而调整曝光框和光罩的位置及水平程度，进而增进光罩与基板的贴合度。

主权项

一种曝光框对位装置，应用于曝光机的曝光框上，该曝光框用于装设光罩，其特征在于，该曝光框对位装置包括：支撑架；及多个调整单元，设置于该支撑架上并连接该曝光框，每个调整单元包括：基座，具有相垂直的第一水平滑动接合组件和第一垂直滑动接合组件；第一滑块，具有第二水平滑动接合组件及第一斜面滑动接合组件，该第二水平滑动接合组件可滑动地设置于该基座的第一水平滑动接合组件上，该第一斜面滑动接合组件固定于该第一滑块的第一斜面上；线性驱动器，连接该第一滑块，用于驱动该第一滑块相对该基座水平平移；第二滑块，具有第二垂直滑动接合组件和第二斜面滑动接合组件，该第二垂直滑动接合组件可滑动地设置于该基座的第一垂直滑动接合组件上，该第二斜面滑动接合组件固定于该第二滑块的第二斜面上并与该第一滑块的第一斜面滑动接合组件滑动接合，以使该第一滑块带动该第二滑块相对该基座垂直平移；及万向接头，设置于该第二滑块底部并与该曝光框连接。