主权项 |
一种激光损伤阈值标定方法,其特征在于,所述的标定方法具体包括以下步骤:(1)在三块光学基板上分别均匀旋涂三种尺寸SiO<sub>2</sub>颗粒,直径为<i>d<sub>1</sub></i>、<i>d<sub>2</sub></i>和<i>d<sub>3</sub></i>;(2)将步骤(1)所得的三块光学基板分别放入电子束蒸发式镀膜机内,在SiO<sub>2</sub>颗粒上镀制一层金属Hf薄膜,厚度为<i>d</i>;(3)利用电子束蒸发式镀膜机镀制厚度为<i>D</i>的三波长高反射薄膜,获得三块标准光学样品;(4)采用两套激光损伤阈值测试系统,分别对三块光学样品进行激光损伤阈值测试,在第一套激光损伤阈值测试系统上,采用光栅扫描方式对三块光学样品进行激光损伤阈值测试,测得激光损伤阈值<i>X<sub>1</sub></i>、<i>X<sub>2</sub></i>和<i>X<sub>3</sub></i>;在第二套激光损伤阈值测试系统上,采用光栅扫描方式对三块光学样品进行激光损伤阈值测试,测得激光损伤阈值<i>Y<sub>1</sub></i>、<i>Y<sub>2</sub></i>和<i>Y<sub>3</sub></i>;(5)对三块光学样品在步骤(4)所述的不同激光损伤阈值测试系统中的损伤阈值进行最小二乘法拟合,以第一套激光损伤阈值测试系统的激光损伤阈值<i>X<sub>1</sub></i>、<i>X<sub>2</sub></i>和<i>X<sub>3</sub></i>为横坐标,第二套激光损伤阈值测试系统的激光损伤阈值<i>Y<sub>1</sub></i>、<i>Y<sub>2</sub></i>和<i>Y<sub>3</sub></i>为纵坐标,获得拟合公式<i>Y</i>=<i>a</i>×<i>X</i>+<i>b</i>,即<i>a</i>和<i>b</i>分别为第一套激光损伤阈值测试系统、第二套激光损伤阈值测试系统的激光损伤阈值标定参数。 |