微型钻针之量测设备

摘要

一种微型钻针之量测设备，用以破坏式量测一微型钻针。量测设备包括一研磨机构、一取像机构、一移载机构及一旋转机构。藉由旋转机构上的一夹具组件夹设微型钻针，再透过移载机构带动夹具组件在一研磨位置及一量测位置之间位移，并利用旋转机构带动夹具组件旋转。当夹具组件移动至一研磨位置时，微型钻针系相对于研磨机构倾斜一角度设置，以进行角度研磨。当夹具组件移动到量测位置时，则使微型钻针对应于取像机构的一量测取像组件。

主权项

一种微型钻针之量测设备，用以破坏式量测一微型钻针，该量测设备包括：一研磨机构，用以研磨该微型钻针的一端面；一取像机构，包括一校位取像组件及一量测取像组件；一移载机构，包括一第一调距组件及一第二调距组件，该第二调距组件活动装设于该第一调距组件上，并沿着一第一轴向相对于该第一调距组件往复位移；以及一旋转机构，设有一夹具组件，该夹具组件用以夹设该微型钻针，该旋转机构活动装设于该第二调距组件上，并沿着一第二轴向相对于该第二调距组件往复位移，该旋转机构具有一轴心，系与该第一轴向与该第二轴向相互垂直，该旋转机构带动该夹具组件以该轴心为旋转轴相对于该研磨机构旋转；其中，当该夹具组件移动至一研磨位置时，该微型钻针系相对于该研磨机构倾斜一角度设置，并对应于该校位取像组件，当该夹具组件移动至一量测位置时，该微型钻针对应于该量测取像组件。