吸附垫片、研磨装置及吸附垫片之制造方法

摘要

本发明系关于一种吸附垫片，其包含一吸附层。该吸附层包含用以吸附一基材之一吸附表面。该吸附表面包含一第一吸附区域及一第二吸附区域，其中该第一吸附区域之吸附力系大于该第二吸附区域之吸附力。根据本发明之吸附垫片藉由不同吸附区域，使研磨完毕便于卸除该基材，减少基材因卸除而破裂、减少卸除时间及降低卸除困难度。

主权项

一种吸附垫片，其包含一吸附层，该吸附层包含一吸附表面，用以吸附一基材，其中该吸附表面包含：一第一吸附区域及一第二吸附区域，其中该第一吸附区域之吸附力系大于该第二吸附区域之吸附力；其中该吸附表面另包含一第三吸附区域，且该第二吸附区域之吸附力系大于该第三吸附区域之吸附力，其中该第二吸附区域系环绕该第三吸附区域。