发明名称 |
一种平面旋转制备硫化物的装置及方法 |
摘要 |
本发明是一种平面旋转制备硫化物的装置及方法。本发明的平面旋转制备硫化物的装置,包括有电机、用于水平放置样品的支架、搅拌装置、水浴反应容器、水浴箱、进出水管道,其中支架与电机的输出轴连接,且支架置于水浴反应容器内,搅拌装置置于水浴反应容器的底部,水浴反应容器置于水浴箱内,水浴箱的侧壁设有进出水管道。本发明的装置结构简单,可批量大规模生产。本发明平面旋转制备硫化物的方法,包括多层衬底水平放置同时沉积技术,溶液的配置,溶液加热,反应沉积,反应溶液温度场分布控制。本发明的装置结构简单,在保证制备薄膜均匀致密的前提下,实现多片衬底同时进行薄膜生长反应。本发明的方法可有效提高生产速率及材料利用率,制备薄膜致密均匀。 |
申请公布号 |
CN104294238A |
申请公布日期 |
2015.01.21 |
申请号 |
CN201410470580.0 |
申请日期 |
2014.09.16 |
申请人 |
阳江市汉能工业有限公司;阳江汉能科技有限公司 |
发明人 |
梁月娟;莫计娇;黄俊;苏文冠 |
分类号 |
C23C18/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/00(2006.01)I |
代理机构 |
广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
代理人 |
林丽明 |
主权项 |
一种平面旋转制备硫化物的装置,其特征在于包括有电机(1)、用于水平放置样品的支架(2)、搅拌装置(3)、水浴反应容器(4)、水浴箱(6)、进出水管道(7),其中支架(2)与电机(1)的输出轴连接,且支架(2)置于水浴反应容器(4)内,搅拌装置(3)置于水浴反应容器(4)的底部,水浴反应容器(4)置于水浴箱(6)内,水浴箱(6)的侧壁设有进出水管道(7)。 |
地址 |
529533 广东省阳江市高新区福冈工业园高新一路西23号 |