高硬度、低应力的多元复合类金刚石涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高硬度、低应力的多元复合类金刚石涂层。该涂层由类金刚石、第一掺杂元素Al或Cu以及第二掺杂元素Cr或W组成，并且，在该多元复合类金刚石涂层中，第一掺杂元素、第二掺杂元素的原子百分含量分别为1.56％～4.69％。实验证实，该共掺杂的类金刚石涂层兼具高硬度与低应力，同时还具有低的摩擦系数和磨损率、良好韧性和耐蚀性，以及高膜基结合力，因此是一种综合性能良好的多功能涂层。

主权项

高硬度、低应力的多元复合类金刚石涂层，其特征在于：位于基体表面，由类金刚石、第一掺杂元素以及第二掺杂元素组成，所述的第一掺杂元素为Al元素或Cu元素，第二掺杂元素为Cr元素或W元素；并且，在所述的多元复合类金刚石涂层中，第一掺杂元素的原子百分比含量为1.56％～4.69％，第二掺杂元素的原子百分比含量为1.56％～4.69％。