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发明名称 WAFER PROBER
摘要
申请公布号 JPH01291440(A) 申请公布日期 1989.11.24
申请号 JP19880121549 申请日期 1988.05.18
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KARASAWA WATARU
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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