一种采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺

摘要

一种采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，其特征在于：所述的采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，具体为将切割使用后的废弃砂浆经分离机后，流体部分通过管道输送给压滤机，压滤机的膜采用纤维膜，孔径小于5微米，流体压强小于8兆帕，助滤剂添加量的质量比为4～30%。所述的助滤剂为珍珠岩。本发明的优点：本发明所述的采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，用于回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。回收效果好，小颗粒杂质去除率达95%以上。回收效率高，有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。

主权项

一种采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，其特征在于：所述的采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，具体为将切割使用后的废弃砂浆经分离机后，流体部分通过管道输送给压滤机，压滤机的膜采用纤维膜，孔径小于5微米，流体压强小于8兆帕，助滤剂添加量的质量比为4～30%。