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发明名称
PREPARING METHOD OF INSPECTION PROGRAM FOR INTEGRATED CIRCUIT AND INSPECTING METHOD OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0235382(A)
申请公布日期
1990.02.05
申请号
JP19880183568
申请日期
1988.07.25
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
YOKOTA KEIICHI
分类号
G01R31/26;G01R31/00;G01R31/28
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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