发明名称 PREPARING METHOD OF INSPECTION PROGRAM FOR INTEGRATED CIRCUIT AND INSPECTING METHOD OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0235382(A) 申请公布日期 1990.02.05
申请号 JP19880183568 申请日期 1988.07.25
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 YOKOTA KEIICHI
分类号 G01R31/26;G01R31/00;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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