空气冷却的法拉第屏蔽罩和使用该屏蔽罩的方法

摘要

本发明涉及空气冷却的法拉第屏蔽罩和使用该屏蔽罩的方法，具体提供了一种用于等离子体处理室中的处理室和法拉第屏蔽罩系统。一种系统包括限定法拉第屏蔽罩的圆盘结构，并且所述圆盘结构具有处理侧和后侧。所述圆盘结构自中心区域之间延伸到周边区域。所述圆盘结构存在于所述处理空间内。所述系统还包括具有内部压力通风系统的毂，用于输送从输入管道接收到的流体流并从输出管道排出所述流体流。所述毂具有耦合到所述圆盘结构的后侧的中心区域的交界面。流体输送控制装置耦合到所述毂的所述输入管道。所述流体输送控制装置被配置成具有流速调节器。经调节的空气可以是经放大的或者可以是压缩干燥空气(CDA)。

主权项

一种等离子体处理装置，其包括：室，所述室具有壁和限定在处理空间内的衬底支撑件；法拉第屏蔽罩，所述法拉第屏蔽罩具有有处理侧和后侧的圆盘状物，所述圆盘状物自中心区域到周边区域之间延伸，所述法拉第屏蔽罩限定在所述处理空间内，使得所述处理侧面向所述衬底支撑件；具有内部压力通风系统的毂，其用于输送从输入管道接收到的流体流并从输出管道排出所述流体流，所述毂具有与所述法拉第屏蔽罩的后侧的中心区域热耦合的交界面；耦合到所述毂的所述输入管道的流体输送控制装置，所述流体输送控制装置被配置成具有流速调节器，所述流速调节器用于设置流经所述毂的所述压力通风系统的所述流体流的流速；以及耦合到所述输出管道的流体去除控制装置，其用于从所述毂的所述压力通风系统去除所述流体流。