真空干燥腔室排气系统及方法

摘要

本发明公开了一种真空干燥腔室排气系统及方法，其中，真空干燥腔室排气系统包括：多个排气口，设置在真空干燥腔室外；排气泵，通过排气管连接该多个排气口。本发明真空干燥腔室排气的方法包括：在将待干燥基板放入该真空干燥腔室时，通过该排气泵进行排气；在真空干燥腔室关闭后，停止通过该排气泵进行排气；在将干燥后的基板自该真空干燥腔室取出时，通过该排气泵进行排气。综上所述，本发明是通过在真空干燥腔室的外部设置多个排气口，使得在腔室取放基板的过程中，能够通过真空干燥腔室的外部的多个排气口将腔室内高浓度的溶解物的挥发气体排出，减少了在此过程中可能产生的环境危害。

主权项

一种真空干燥腔室排气系统，其特征在于，包括：多个排气口，设置在真空干燥腔室外；排气泵，通过排气管连接该多个排气口。