| 发明名称 | 智能数字温控过热保护溅镀机 | ||
| 摘要 | 本实用新型的智能数字温控过热保护溅镀机，包括溅镀主机、水冷却系统，其水冷却系统设有一个由智能数字温控器与热电偶连接构成的智能数字温控过热保护装置；所述热电偶置于冷却系统的阴极罩内；具有结构简捷、造价低，可靠性高等优点；能准确检测溅镀机的阴极罩内部工作温度，不会受现有技术因为水垢问题影响检测，而且能防止因为其他因素造成的溅镀机内部过热，有效防止溅镀机内部温度过高损坏零部件。 | ||
| 申请公布号 | CN204111857U | 申请公布日期 | 2015.01.21 |
| 申请号 | CN201420422787.6 | 申请日期 | 2014.07.29 |
| 申请人 | 黄端权 | 发明人 | 黄端权 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人 | 张新球 |
| 主权项 | 一种智能数字温控过热保护溅镀机，包括溅镀主机、水冷却系统，其特征在于：其水冷却系统设有一个由智能数字温控器与热电偶连接构成的智能数字温控过热保护装置；所述热电偶置于冷却系统的阴极罩内。 | ||
| 地址 | 542800 广西壮族自治区贺州市平桂管理区鹅塘镇厦岛村(八鹅二级路边) | ||