层叠式二维负载定位工作台

摘要

本实用新型涉及工作台领域，尤其涉及一种层叠式二维负载定位工作台，包括工作台、设有第一X向导轨的底座和设有第一Y向导轨的X向动子，所述X向动子滑动配合所述第一X向导轨，所述工作台滑动配合所述第一Y向导轨，所述底座还包括第二Y向导轨，所述层叠式二维负载定位工作台还包括Y向动子，所述Y向动子滑动配合所述第二Y向导轨，所述层叠式二维负载定位工作台还包括可沿X方向运动的滑动解耦机构，所述滑动解耦机构分别连接所述Y向动子和所述工作台。所述XY向动子和所述工作台分层叠放在所述底座上，所述工作台能够在高加速度下运行，提高了工作效率，减小了并联结构导致的设备占用空间过大的问题，即该设备缩小了体积。

主权项

一种层叠式二维负载定位工作台，包括工作台(30)、设有第一X向导轨(14)的底座（10）和设有第一Y向导轨(31)的X向动子(20)，所述X向动子(20)滑动配合所述第一X向导轨(14)，所述工作台(30)滑动配合所述第一Y向导轨(31)，其特征在于：所述底座(10)还包括第二Y向导轨(13)，所述层叠式二维负载定位工作台还包括Y向动子(40)，所述Y向动子(40)滑动配合所述第二Y向导轨(13)，所述层叠式二维负载定位工作台还包括可沿X方向运动的滑动解耦机构(50)，所述滑动解耦机构(50)分别连接所述Y向动子(40)和所述工作台(30)。2.根据权利要求1所述的层叠式二维负载定位工作台，其特征在于：所述滑动解耦机构(50)包括第二X向导轨(52)和配合所述第二X向导轨(52)的第二X向滑块(51)，所述第二X向导轨(52)连接所述Y向动子(40)，所述第二X向滑块(51)连接所述工作台(30)，所述XY向动子(20，40)和所述工作台(30)分层叠放在所述底座（10）上。3.根据权利要求1或2所述的层叠式二维负载定位工作台，其特征在于：所述工作台(30)含有多个凹槽(21)。4.根据权利要求1或2所述的层叠式二维负载定位工作台，其特征在于：所述层叠式二维负载定位工作台采用U型直线电机(70)驱动，所述U型直线电机(70)还包括U型直线电机动子(72)和U型直线电机定子(71)，所述X、Y向动子(20、40)分别连接所述U型直线电机动子(72)，所述底座(10)连接所述U型直线电机定子(71)。5.根据权利要求1或2所述的层叠式二维负载定位工作台，其特征在于：所述层叠式二维负载定位工作台还包括固定在所述底座(10)和所述X向动子(20)之间测量所述X向动子(20)位移的光栅尺位移传感器(60)。6.根据权利要求1或2所述的层叠式二维负载定位工作台，其特征在于：所述层叠式二维负载定位工作台还包括固定在所述X向动子(20)上测量所述工作台(30)位移的光栅尺位移传感器(60)。7.根据权利要求3所述的层叠式二维负载定位工作台，其特征在于：所述X、Y向动子(20、40)还包括所述凹槽(21)和通孔。