用于磁控溅射设备倒置的固定多个基片的夹具及装夹方法

摘要

本发明公开了一种用于磁控溅射设备倒置的固定多个基片的夹具，包括底座和固定件，所述底座上设有若干条燕尾槽，所述燕尾槽的顶面上间隔地设有多个用来放置基片的矩形槽，所述矩形槽的四角处均分别固定有垫片，所述垫片的高度为矩形槽与基片的高度之差；所述固定件包括与所述燕尾槽配合的燕尾形块，所述燕尾形块上设有螺钉；在所述燕尾槽中，位于每个矩形槽的两侧均分别设有一固定件，固定件中的螺钉穿过燕尾形块后紧顶在燕尾槽的底面上，装夹基片后，所述燕尾形块的顶面与所述基片的顶面平齐，可以防止产生遮挡、电场不均等现象，本发明夹具可以保证在多个基片倒置的情况下，也不会发生跌落，从而顺利地完成磁控溅射镀膜过程。

主权项

一种用于磁控溅射设备倒置的固定多个基片的夹具，包括底座(1)和固定件，其特征在于：所述底座(1)上设有若干条燕尾槽(2)，所述燕尾槽(2)的顶面上间隔地设有多个用来放置基片(5)的矩形槽(3)，所述矩形槽(3)的四角处均分别固定有垫片(4)，所述垫片(4)的高度为矩形槽(3)与基片(5)的高度之差；所述固定件包括与所述燕尾槽(2)配合的燕尾形块(6)，所述燕尾形块(6)上设有螺钉(8)；在所述燕尾槽(2)中，位于每个矩形槽(3)的两侧均分别设有一固定件，固定件中的螺钉(8)穿过燕尾形块(6)后紧顶在燕尾槽(2)的底面上。