制程条件量测装置及用于量测经组态以处理生产工件之工件处理工具中之制程条件之方法

摘要

一种制程条件量测装置(PCMD)可包括第一基板组件及第二基板组件。一或多个温度感测器嵌于每一基板组件内。该第一基板组件及该第二基板组件包夹在一起，以使得该第二基板组件中之每一温度感测器与定位于该第一基板组件中的一相应温度感测器按纵列对准。或者，第一温度感测器及第二温度感测器可在同一基板中平行定位。当该PCMD经受一工件处理工具中之制程条件时，可量测各对相应温度感测器之间的温度差。可自该等温度差计算该工具中之制程条件。

主权项

一种制程条件量测装置(PCMD)，该PCMD用于判定经组态以处理生产工件之工件处理工具中之制程条件，该PCMD包含：a)一基板组件；b)一或多个热通量感测器，该一或多个热通量感测器嵌于该基板组件内；及c)一额外基板组件，该额外基板组件与该基板组件包夹在一起，其中该一或多个热通量感测器嵌于该基板组件与该额外基板组件之间。