产生增量前驱气体之热化气体注入器，包含此等注入器之材料沉积系统及其相关方法

摘要

将材料沉积于底材上之方法包含自一热化气体注入器中一来源气体形成一前驱气体及一副产物。该副产物可以与一液态试剂反应，以形成额外的前驱气体，该额外前驱气体可以从该热化气体注入器注入一反应室内。将气体注入一沉积系统反应室之热化气体注入器可以包括一进气口，一热化管道，用于容纳一液态试剂之一液体容器，以及一排气口。一途径可以从该进气口延伸，通过该热化管道至该液体容器一内部空间，然后从该液体容器之内部空间延伸至该排气口。该热化管道可以具有大于该进气口与该液体容器间最短距离之一长度。沉积系统可以包含一个或多个此等热化气体注入器。

主权项

一种热化气体注入器，其系用于将一种或多种气体注入一沉积系统之反应室，该热化气体注入器包括：一进气口；一热化管道；用于容纳一液态试剂之一液体容器；一排气口；一途径，其自进气口延伸，通过热化管道至液体容器一内部空间，然后从液体容器之内部空间延伸至排气口，其热化管道具有一长度，该长度大于进气口与液体容器排气口间的最短距离；以及至少一加热组件，用于提供热能以将热化管道与液体容器内之一或更多种气体加热至约500℃与约1000℃之间的一温度。