| 发明名称 | 基板清洗机、基板清洗装置、清洗后基板的制造方法及基板处理装置 | ||
| 摘要 | 基板清洗机(1)具有：对基板进行保持的基板保持装置(10)；第1清洗装置(11)，其具有第1清洗部件(11a)，使该第1清洗部件与由基板保持装置(10)保持的基板(W)的第1面(WA)接触而对该面进行清洗；第2清洗装置(12)，其具有第2清洗部件(12a)，使该第2清洗部件与基板(W)的第1面(WA)接触而对该面进行清洗；以及控制装置(50)，其将第1、2清洗装置(11、12)控制成，当第1清洗部件(11a)及第2清洗部件(12a)中的一方对由基板保持装置(10)保持的基板(W)的第1面(WA)进行清洗时，使另一方处于离开基板(W)的位置。采用本发明，能用清洁的清洗部件进行清洗并能提高处理量。 | ||
| 申请公布号 | CN104299930A | 申请公布日期 | 2015.01.21 |
| 申请号 | CN201410345524.4 | 申请日期 | 2014.07.18 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 樱井武史;平井英治;滨浦薰;宫崎充;丸山浩二 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;刘煜 |
| 主权项 | 一种基板清洗机，其特征在于，具有：基板保持装置，该基板保持装置对具有第1面和第2面的基板进行保持，所述第2面是所述第1面的相反侧的面；第1清洗装置，该第1清洗装置具有第1清洗部件，并使该第1清洗部件与由所述基板保持装置保持的所述基板的所述第1面接触而对所述第1面进行清洗；第2清洗装置，该第2清洗装置具有第2清洗部件，并使该第2清洗部件与由所述基板保持装置保持的所述基板的所述第1面接触而对所述第1面进行清洗；以及控制装置，该控制装置将所述第1清洗装置及所述第2清洗装置控制成，当所述第1清洗部件及所述第2清洗部件中的一方对由所述基板保持装置保持的所述基板的所述第1面进行清洗时，另一方处于离开由所述基板保持装置保持的所述基板的位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||