用于半导体装置的自动化检验的配方产生的方法、计算机系统及设备

摘要

本发明揭示一种用于半导体装置的自动化检验的检验配方产生的方法、计算机系统及设备。为产生所述检验配方，使用参考数据集。借助初始配方对所述参考数据集(参考晶片图)的裸片的图像执行自动检验。将来自所述自动检验的所检测检验结果分类，且将所述经分类检验结果与裸片中的缺陷的专家分类进行比较。自动产生过杀及漏杀数目。根据所述过杀及漏杀数目，修改检验配方参数。如果所述检测及/或所述分类低于预定义阈值，那么重复自动检验。

主权项

一种用于半导体装置的自动化检验的检验配方产生的方法，其包括以下步骤：使用参考数据集来进行检验配方产生；借助初始配方对所述参考数据集的裸片的图像运行自动检验；将来自所述自动检验的所检测检验结果分类且将所述经分类检验结果与裸片中的缺陷的专家分类进行比较；自动产生过杀及漏杀数目；以及如果所述检测及/或所述分类低于预定义阈值，那么修改检验配方参数且重复所述自动检验。