一种掩模板硬质框架载台及其调整方法

摘要

本发明公开了一种掩模板硬质框架载台及其调整方法，载台包括基架、顶起机构、调平机构、支撑板以及定位机构，本发明为掩模板组装过程提供一个硬质框架的承载平台，该承载平台具有较强的机动性及实用性，能够较好的满足掩模板高精度组装的要求。

主权项

一种掩模板硬质框架载台，其包括：基架、顶起机构、调平机构、支撑板以及定位机构，其特征在于：所述基架由底板及设置在所述底板上的侧板构成，用于安装所述顶起机构和所述调平机构；所述顶起机构由至少4个垂直设置在所述基架底板上的升降驱动装置与至少2个水平设置在所述升降驱动装置上方的顶板构成，所述顶板通过所述升降驱动装置的运动完成上升或下降动作；所述调平机构由至少4个垂直设置在所述基架上的电动执行器及设置在每个电动执行器上方的调平板构成；所述支撑板设置在所述调平机构的调平板上方，通过配合调节所述调平机构的所述电动执行器可以调整所述支撑板的水平位置，所述支撑板用于承载所述硬质框架；所述定位机构设置在所述支撑板或所述顶起机构的顶板上，所述硬质框架通过所述定位机构定位在所述支撑板上的确定位置。