发明名称 用于相变存储器的Ga-Ge-Sb-Te薄膜材料
摘要 本发明提供一种用于相变存储器的Ga-Ge-Sb-Te薄膜材料。该Ga-Ge-Sb-Te薄膜材料的通式为Ga<sub>x</sub>Ge<sub>y</sub>Sb<sub>z</sub>Te<sub>w</sub>,其中0&lt;x≤16,23≤y≤28,26≤z≤31,30≤w≤40。该Ga-Ge-Sb-Te薄膜材料具有结晶温度高,热稳定性好,数据保持力强等特点,可以应用在汽车电子等高温领域。
申请公布号 CN103050624B 申请公布日期 2015.01.21
申请号 CN201310025243.6 申请日期 2013.01.23
申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明人 张中华;宋三年;宋志棠;吕叶刚
分类号 H01L45/00(2006.01)I;C22C12/00(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 余明伟
主权项 一种用于相变存储器的Ga‑Ge‑Sb‑Te薄膜材料,其特征在于:所述用于相变存储器的Ga‑Ge‑Sb‑Te薄膜材料的通式为Ga<sub>6</sub>Ge<sub>28</sub>Sb<sub>26</sub>Te<sub>40</sub>。
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号