发明名称 |
用于相变存储器的Ga-Ge-Sb-Te薄膜材料 |
摘要 |
本发明提供一种用于相变存储器的Ga-Ge-Sb-Te薄膜材料。该Ga-Ge-Sb-Te薄膜材料的通式为Ga<sub>x</sub>Ge<sub>y</sub>Sb<sub>z</sub>Te<sub>w</sub>,其中0<x≤16,23≤y≤28,26≤z≤31,30≤w≤40。该Ga-Ge-Sb-Te薄膜材料具有结晶温度高,热稳定性好,数据保持力强等特点,可以应用在汽车电子等高温领域。 |
申请公布号 |
CN103050624B |
申请公布日期 |
2015.01.21 |
申请号 |
CN201310025243.6 |
申请日期 |
2013.01.23 |
申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
张中华;宋三年;宋志棠;吕叶刚 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I;C22C12/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
余明伟 |
主权项 |
一种用于相变存储器的Ga‑Ge‑Sb‑Te薄膜材料,其特征在于:所述用于相变存储器的Ga‑Ge‑Sb‑Te薄膜材料的通式为Ga<sub>6</sub>Ge<sub>28</sub>Sb<sub>26</sub>Te<sub>40</sub>。 |
地址 |
200050 上海市长宁区长宁路865号 |