盐及含有该盐之光阻组成物

摘要

一种式(I-AA)表示之盐：;(I-AA);其中，Q1及Q2各自独立表示氟原子或C1-C4全氟烷基；X1表示单键等；Y1表示C1-C36脂族烃基等；A1及A2各自独立表示C1-C20脂族烃基等；Ar1表示可具有一个或多个取代基之(m4+1)价的C6-C20芳族烃基；B1表示单键等；B2系如说明书中所定义；m1及m2各自独立表示0至2的整数；m3表示1至3的整数，其限制条件为m1+m2+m3=3；及m4表示1至3的整数，以及一种光阻组成物，包括该以式(I-AA)表示之盐及树脂，该树脂包括具有酸不稳定基之结构单元，且该树脂为不溶于或难溶于硷性水溶液，但受酸的作用可变得溶于硷性水溶液。

主权项

一种式(I-AA)表示之盐：其中，Q1及Q2各自独立表示氟原子或C1-C4全氟烷基；X1表示单键或-(CH2)k-，且在该-(CH2)k-中之一个或多个-CH2-可经-O-或-CO-置换，且在该-(CH2)k-中之一个或多个氢原子可经C1-C4脂族烃基置换，以及k表示1至17的整数；Y1表示C3-C36脂环族烃基或C6-C36芳族烃基，且该脂环族烃基及该芳族烃基可具有一个或多个不含氟原子之取代基，且在该脂族烃基及脂环族烃基中之一个或多个-CH2-可经-O-或-CO-置换；A1及A2各自独立表示C1-C20脂族烃基、C3-C20脂环族烃基或C6-C20芳族烃基，或者A1及A2系相互键结形成C3-C20环，且在该脂族烃基、该脂环族烃基、该芳族烃基及该环中之一个或多个氢原子可经羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基或C3-C36脂环族烃基置换；Ar1表示可具有一个或多个取代基之(m4+1)价的C6-C20芳族烃基；B1表示单键或C1-C6伸烷基，且在该伸烷基中之一个或多个-CH2-可经-O-或-CO-置换；B2表示不受酸的作用而被清除之C4-C18内酯环基，且在该内酯环中之一个或多个氢原子可经氰基、C1-C20脂族烃基或C3-C20脂环族烃基置换；m1及m2各自独立表示0至2的整数；m3表示1至3的整数，其限制条件为m1+m2+m3=3；以及m4表示1至3的整数。