| 发明名称 |
ポジ型感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品 |
| 摘要 |
<p>A positive photosensitive resin composition including: (a) a resin capable of being dissolved in an aqueous alkaline solution; (b) a compound having two or more oxetanyl groups; (c) a diazonaphthoquinone compound; and (d) a solvent.</p> |
| 申请公布号 |
JP5655794(B2) |
申请公布日期 |
2015.01.21 |
| 申请号 |
JP20110550840 |
申请日期 |
2011.01.18 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/023;G03F7/004;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/023 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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