吸附用构件、使用其的吸附装置及带电粒子线装置

摘要

本发明涉及吸附用构件、使用其的吸附装置及带电粒子线装置。本发明提供一种吸附用构件，其载置于设置有多个吸引孔的吸附台上，保持被吸附在该吸附台上的对象物。吸附用构件具有能够拆装地载置于吸附台上的基板。基板具有：吸附区域，其配置对象物，且能够进行基于吸引孔的吸引；吸附遮断区域，其设置于该吸附区域的外周，且将多个吸引孔中的一部分吸引孔覆盖。

主权项

一种吸附用构件，载置于设置有多个吸引孔的吸附台上，且通过基于所述吸引孔的吸引而吸附对象物，所述吸附用构件的特征在于，具有能够拆装地载置于所述吸附台上的基板，所述基板具有：吸附区域，其载置所述对象物，且能够进行基于所述吸引孔的吸引而吸附所述对象物；吸附遮断区域，其设置于该吸附区域的外周，且将所述多个吸引孔中的一部分覆盖；基座构件，其具有能够进行基于所述吸引孔的吸引的所述吸附区域；罩构件，其能够拆装地载置于所述基座构件上，形成所述吸附遮断区域，且具有开口部，在该开口部的内侧配置所述对象物，所述吸附用构件具有：至少1个抵接部，其设置于所述罩构件的内周缘，且抵接所述对象物；保持构件，其设置于所述罩构件，且通过将所述对象物压紧于所述抵接部上而在与所述抵接部之间保持所述对象物，所述保持构件具有：接触部，其具有与所述对象物接触的接触部位；多个固定部，其在与将所述对象物压紧于所述抵接部的方向正交的方向上且在所述接触部的两侧的位置上固定于所述基板上；多个伸缩部，其分别连接所述接触部和所述多个固定部，且能够在将所述对象物压紧于所述抵接部的方向上伸缩，在俯视所述罩构件时，所述内周缘具有作为所述抵接部的多个直线部分和沿着规定的圆的圆周配置的多个圆弧状部分，所述多个直线部分具有第一直线部分和比该第一直线部分短的第二直线部分，将所述规定的圆的中心点和所述第一直线部分的中心点连接的线以及将所述规定的圆的中心点和所述第二直线部分的中心点连接的线呈直角，连接所述第一直线部分的中心点和所述规定的圆的中心点的线与连接所述规定的圆的中心点和所述保持构件的所述接触部的线形成的角度大于连接所述第二直线的中心点和所述规定的圆的中心点的线与所述规定的圆的中心点和所述保持构件的所述接触部的线形成的角度。