一种薄介质的无接触式检测方法及装置

摘要

本发明实施例公开了一种薄介质的无接触式检测方法及装置，解决了现有机械测厚装置、红外检测装置和超声波检测装置进行薄介质表面异物检测，而导致的精度较低和测量波长长的技术问题。本实施例方法包括：获取由光源的发射光线经薄介质反射回的目标光线到达线列光电探测器的时间和获取光源经参考平面反射回的参考光线到达线列光电探测器的时间；根据获取到的目标光线和参考光线到达线列光电探测器的时间，计算目标光线和参考光线对应的第一光程和第二光程，通过信号处理模块按照预置计算方式获取干涉条纹亮暗条纹数；将干涉条纹亮暗条纹数与标准干涉条纹亮暗条纹数按照预置方式进行差值法比对，若比对结果大于预置阈值，则薄介质表面存在异物。

主权项

一种薄介质的无接触式检测方法，其特征在于，包括：S1：获取由光源的发射光线经薄介质反射回的目标光线到达线列光电探测器的时间；S2：获取所述光源经参考平面反射回的参考光线到达所述线列光电探测器的时间；S3：根据获取到的所述目标光线和所述参考光线到达所述线列光电探测器的时间，计算目标光线和参考光线对应的第一光程和第二光程，之后通过信号处理模块按照预置计算方式获取干涉条纹亮暗条纹数；S4：将所述干涉条纹亮暗条纹数与标准干涉条纹亮暗条纹数按照预置方式进行差值法比对，若比对结果大于预置阈值，则所述薄介质表面存在异物。