多光束光学厚膜监测仪

摘要

本发明涉及一种多光束光学厚膜监测仪，它属于一种光学镀膜实时监控设备。本发明主要是解决现有的光学膜厚仪存在的监控点少、监控精度低且监控效率差的技术问题。本发明采用的技术方案是：多光束光学厚膜监测仪，它包括单色仪、光电探测器、信号放大器、控制计算机、位置触发电路和会聚透镜，其中：它还包括：一个卤钨灯；一个旋转斩光器：旋转斩光器设在一个旋转托盘上并且能以卤钨灯灯丝为中心旋转；至少三个光纤光路：每一个光纤光路由透镜和光纤组成；基板支架：基板支架设在旋转斩光器的下方，监控点设在基板支架上。本发明具有监控点多、监控精度高和成本低的优点。

主权项

一种多光束光学厚膜监测仪，它包括单色仪(10)、光电探测器(12)、信号放大器(13)、控制计算机(14)、位置触发电路(16)和会聚透镜(17)，其特征在于：它还包括：一个卤钨灯(1)：卤钨灯(1)设置在旋转斩光器(2)内；一个旋转斩光器(2)：旋转斩光器(2)设在一个旋转托盘上并且能以卤钨灯(1)灯丝为中心旋转，在旋转斩光器(2)中间位置上设有一个光出射孔(3)，在旋转斩光器(2)的轴上连接有光电开关或者编码器，以设置针对各个光路和暗场位置的触发脉冲，用于选择对应的信号处理电路；至少三个光纤光路：每一个光纤光路由透镜(4)和光纤(5)组成，光纤光路以卤钨灯(1)灯丝为中心依次环绕设置在旋转斩光器(2)的周围，且光纤光路中的透镜(4)位于旋转斩光器(2)光出射孔(3)射出光束的光路上，光纤(5)位于透镜(4)的后面；其中一个光纤光路为参考光路，其余光纤光路为监控光纤光路；基板支架(6)：基板支架(6)设在旋转斩光器(2)的下方，监控点(7)设在基板支架(6)上。