在极角和方位角方向均具有输出限制的反射膜组合及相关构造

摘要

本发明提供一种反射膜，所述反射膜包括布置在光学重复单元内的微层，以在扩展波段内反射光，所述光学重复单元中更薄的和更厚的单元分别设置成大致朝向所述膜的薄侧和厚侧。所述微层受到调控，以便对于入射到第一平面内的p偏振光，为所述膜提供减少至少一半的反射率，所述反射率从垂直入射角度时的初始值减少至入射角θoblique时的R1值。对于入射到第二平面内的p偏振光，所述膜在角度θoblique时的反射率为R2，其中R2＞R1。本发明提供一种偏振器，所述偏振器与所述反射膜组合，所述组合限定了倾斜的透射瓣，并且所述反射膜的所述厚侧和所述薄侧相对于所述偏振器取向，以减小所述透射瓣的方位角宽度

主权项

一种组合，包括：多层光学膜，所述多层光学膜具有多个微层，所述多个微层布置成光学重复单元以用于在扩展波段内反射光，相邻的所述微层具有限定第一面内轴和第二面内轴的折射率差值，使得所述多层光学膜的反射率对于垂直入射光的所有偏振态为至少75％，对于在包括所述第一面内轴的第一入射平面内入射到所述多层光学膜上的p偏振光，所述折射率差值还使得所述多层光学膜的反射率从垂直入射时的初始值到入射角θoblique时的R1值减少至少一半，但是对于在包括所述第二面内轴的第二入射平面内入射到所述多层光学膜上的p偏振光，所述多层光学膜在所述入射角θoblique时反射率R2＞R1；以及偏振器，所述偏振器具有透光轴和阻光轴，所述偏振器和所述多层光学膜设置成限定倾斜的透射瓣；其中所述光学重复单元在所述多层光学膜的整个厚度上具有光学厚度分布，所述光学厚度分布限定了所述多层光学膜的薄侧和厚侧，所述光学重复单元中的更薄的单元设置成大致朝向所述薄侧，并且所述光学重复单元中的更厚的单元设置成大致朝向所述厚侧；并且其中所述多层光学膜的所述薄侧和所述厚侧相对于所述偏振器取向，以提高所述透射瓣的方位角准直度Δφe，其中，所述第一入射平面由于在倾斜角度对p偏振光的弱反射率而指定为弱入射平面，所述第二入射平面由于在相同的倾斜角度对p偏振光的强反射率而指定为强入射平面，所述第一面内轴是指与所述弱入射平面平行的面内轴，即弱轴，所述第二面内轴是指与所述强入射平面平行的面内轴，即强轴。