平面电机及应用其的掩模台系统

摘要

本发明提供一种平面电机及应用其的掩模台系统。平面电机驱动承版台在平面内运动。平面电机包括定子与动子。定子具有框架、线圈组以及金属板，线圈组用以接收电流且具有多个受力边。动子连接承版台且设置于定子的一侧。动子包括至少一个第一磁铁与至少两个第二磁铁。第一磁铁位于第二磁铁之间且堆叠于第二磁铁上。第一磁铁、第二磁铁以及金属板形成磁场回路，线圈组位于动子与金属板之间。第二磁铁在定子上的投影覆盖受力边的一部分。当改变通入线圈组的电流方向或电流大小时，动子驱动承版台在平面内作不同方向的运动。本发明通过改变通入线圈组的电流方向或者电流大小来实现X、Y自由度和绕Z轴旋转的自由度，极大地简化了驱动结构。

主权项

一种平面电机，驱动承版台在平面内运动，所述平面电机包括：定子，具有框架、线圈组以及金属板，所述线圈组用以接收电流且具有受力边；以及动子，连接所述承版台且设置于所述定子的一侧，所述动子包括至少一个第一磁铁与至少两个第二磁铁，所述第一磁铁位于所述这些第二磁铁之间且堆叠于所述这些第二磁铁上，所述第一磁铁、所述这些第二磁铁以及所述金属板形成磁场回路，所述线圈组位于所述动子与所述金属板之间，所述这些第二磁铁在所述定子上的投影覆盖所述多个受力边的一部分，其中当改变通入所述线圈组的电流方向或电流大小时，所述动子驱动所述承版台在所述平面内作不同方向的运动，所述线圈组包括多个线圈，每一个所述线圈具有四个所述受力边，其特征在于，每一个所述第二磁铁在所述定子上的投影覆盖至少部分所述线圈相邻的所述两个受力边。