消除错误缺陷检测方法与系统

摘要

一种消除错误缺陷检测方法与系统，该方法用以检查一制造产品，包括一第一测试单元将一第一测试制范应用在制造产品中，用以鉴别产品缺陷，其中第一测试制范产生缺陷候选者的一第一集合；一第二测试单元将一第二测试制范应用在制造产品中，用以鉴别产品缺陷，其中第二测试制范产生缺陷候选者的一第二集合，并且第二测试制范不同于第一测试制范；以及一错误缺陷检测单元借由消除缺陷候选者的第一集合中未被缺陷候选者的第二集合鉴别为缺陷的部分，以便产生一第一已过滤缺陷集合。本发明适用于现有的测试方法和测试硬件，使得增加生产力而不用在增加大量的资出来具以实现。

主权项

一种消除错误缺陷检测方法，用以检查一制造产品，包括：一第一测试单元将一第一测试制范应用在上述制造产品中，用以鉴别产品缺陷，其中上述第一测试制范产生缺陷候选者的一第一集合，其中上述第一测试制范包括一临界大小测试，用以测量几何图征交互作用下所产生的等高线；一第二测试单元将一第二测试制范应用在上述制造产品中，用以鉴别产品缺陷，其中上述第二测试制范产生上述缺陷候选者的一第二集合，上述第二集合包含了不在上述缺陷候选者的上述第一集合的缺陷候选者，并且上述第二测试制范不同于上述第一测试制范，上述第二测试制范包括一像素差测试；以及借由一错误缺陷检测单元消除上述缺陷候选者的上述第一集合中未被上述缺陷候选者的上述第二集合鉴别为缺陷的部分，以便产生一第一已过滤缺陷集合，上述第一已过滤缺陷集合包括至少一个缺陷候选者。