| 发明名称 |
用于乾燥分离之电子元件的装置及方法 |
| 摘要 |
本发明有关一种用于至少局部地乾燥分离之电子元件的装置，其包括：一载具，用于该等电子元件；一湿气吸附材料；及一保持器，其覆盖着该湿气吸附材料；其中该保持器及该载具系可相对彼此位移，使得被乾燥之电子元件能被带成与该湿气吸附材料造成接触。 |
| 申请公布号 |
TWI470179 |
申请公布日期 |
2015.01.21 |
| 申请号 |
TW098117582 |
申请日期 |
2009.05.27 |
| 申请人 |
贝西荷兰有限公司 荷兰 |
发明人 |
胡斯泰德 乔杰 汉卓克斯 杰哈德斯;英登巴须 威赫努斯 约翰尼斯 |
| 分类号 |
F26B5/16;F26B5/12 |
主分类号 |
F26B5/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
一种用于至少局部地乾燥分离之电子元件的装置，其包括：一载具，其用于该等电子元件；一湿气吸附材料；及一保持器，其固持该湿气吸附材料；其中该保持器及该载具系可相对彼此位移，使得被乾燥之电子元件能被带成与该湿气吸附材料接触；其特征在于该装置系亦设有抽吸机构，用于将所吸附之湿气抽吸出该湿气吸附材料。 |
| 地址 |
荷兰 |
