低温泵及真空排气方法

摘要

本发明提供一种有助于降低消耗电力的低温泵及使用这种低温泵的真空排气方法。低温泵(10)具备用于冷却低温板的制冷机、及可从离子注入装置(1)接收表示其运行模式的控制信号且用于根据该控制信号控制制冷机的CP控制器(100)。运行模式包括向目标照射射束的照射模式与从目标移开射束或使射束以弱于该照射模式的级别继续存在的空闲模式。CP控制器(100)控制制冷机，以便在照射模式及空闲模式下将低温板冷却成保持气体分子的冷却温度，所述控制器在空闲模式期间的至少一部分中容许将冷却温度设为高于照射模式的温度。

主权项

一种低温泵，其用于进行用来向目标照射射束的射束照射装置的真空腔室中的射束路径的真空排气，其特征在于，该低温泵具备：用于将气体分子捕捉在表面上的低温板；用于冷却所述低温板的制冷机；及能够从所述射束照射装置接收表示其运行模式的控制信号，且用于根据该控制信号控制所述制冷机的控制部，所述运行模式包括向目标照射射束的照射模式与从所述目标移开射束或使射束以弱于该照射模式的级别继续存在的空闲模式，所述控制部控制所述制冷机，以便在所述照射模式及所述空闲模式下所述低温板被冷却成保持所述气体分子的冷却温度，所述控制部容许在所述空闲模式期间的至少一部分中将所述冷却温度设为高于所述照射模式的温度。