感光性树脂组合物、感光性树脂层压体、抗蚀图案形成方法、以及印刷线路板、引线框、半导体封装体和凹凸基板的制造方法

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其在制作干膜时的相容性良好，用i射线、h射线两类曝光机曝光时显示同等的感光度，且分辨率、附着力优异、可通过碱性水溶液显影，进一步优选显影时不产生凝聚物。一种感光性树脂组合物，其包括以下成分：20～90质量％的（a）特定的共聚成分进行共聚的、羧基含量以酸当量计为100~600，且重均分子量为5000~500000的热塑性共聚物、5~75质量%的（b）具有至少一个末端烯属不饱和基的加成聚合性单体、0.01~30质量%的（c）含有三芳基咪唑二聚体的光聚合引发剂、以及0.001~10质量%的（d）吡唑啉化合物。

主权项

一种感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包括如下成分：20～90质量％的(a)热塑性共聚体，其是含有含α,β‑不饱和羧基的单体的共聚成分共聚而成的，羧基含量以酸当量计为100～600、重均分子量为5000～500000；5～75质量％的(b)具有至少一个末端烯属不饱和基的加成聚合性单体；0.01～30质量％的(c)含有三芳基咪唑二聚体的光聚合引发剂；以及0.001～10质量％的(d)下述通式(III)表示的吡唑啉化合物；[化学式5]式中，R⁵表示碳原子数4～12的支链烷基，其中，该(b)具有至少一个末端烯属不饱和基的加成聚合性单体含有下述通式(V)表示的加成聚合性单体中的至少一种，[化学式6]式中，R¹⁰和R¹¹各自独立地表示氢原子或甲基，R¹²表示卤原子或碳原子数1～3的烷基，A²和B²可以彼此相同或不同地表示碳原子数2～6的亚烷基，彼此不同时，‑(A²‑O)‑和‑(B²‑O)‑的重复结构可以为无规也可以为嵌段，m1、m2、m3和m4各自独立地为0以上的整数，m1+m2+m3+m4为0～40，n1为0～14。