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发明名称 APPARATUS FOR EVALUATING SHAPE OF ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH03163308(A) 申请公布日期 1991.07.15
申请号 JP19890302117 申请日期 1989.11.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUOKA GENYA;NAKAYAMA YOSHINORI;KATO KEIZO
分类号 G01B15/00;G01B15/04 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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