发明名称 一种层叠封装结构及其制备方法
摘要 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种层叠封装结构及其制备方法,通过互连线实现上层封装体和下层封装体的电互连,且由于不需要植焊球,减少了封装过程中的回流次数,从而使得工艺简单化,在降低成本的同时,提高了封装结构的可靠性。
申请公布号 CN104299964A 申请公布日期 2015.01.21
申请号 CN201410491944.3 申请日期 2014.09.23
申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司 发明人 何晓锋;黄建冬
分类号 H01L25/065(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L25/065(2006.01)I
代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 吴俊
主权项 一种层叠封装结构,其特征在于,包括:多个子封装结构,且每个所述子封装结构中均设置有半导体器件单元;半固化片,设置在相邻的两所述子封装结构之间,以形成堆叠结构;互连线,贯穿所述子封装结构和所述半固化片,以将相邻的所述子封装结构中的所述半导体器件单元之间电连接。
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