发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03169023(A) 申请公布日期 1991.07.22
申请号 JP19890309566 申请日期 1989.11.28
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 MAEMURA KOUJI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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